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Presseinformationen

Aktu­elle Presse­mit­teilung

Berlin, Deutschland - 4. Mai 2020

Chucks und Clamps für die Halbleiterausrüstungsindustrie – eine Success Story der Berliner Glas Gruppe

Mit kundenspezifischen Vakuum Chucks, elektrostatischen Chucks, Präzisionsstrukturbauteilen, Referenzspiegeln und Stage Modulen bietet Berliner Glas vielseitige Produkte, die in komplexen Halbleiter-Produktionsanlagen eingesetzt werden und höchste Qualitätsansprüche erfüllen. 

Chucks und Clamps sind Schlüsselkomponenten dieser Produktionsanlagen. Je nach Anwendung müssen die Chucks verschiedene Anforderungen erfüllen. So sollten sie beispielsweise eine definierte Haltekraft oder Ebenheit aufweisen und dafür sorgen, die Kontamination von Wafern auf der Rückseite zu verringern.

Berliner Glas verfügt über umfangreiches Wissen, Expertise und jahrelange Erfahrungen im Chuck-Design und der Fertigung dieser hochwertigen Produkte. Unter dem Titel „Perfecting Chucks“ hat Berliner Glas mehrere Dokumente veröffentlicht, in denen die unterschiedlichen Lösungsansätze, Herangehensweisen und Tests beschrieben werden, die dazu führen, die herausfordernden Spezifikationen der Halbleiterausrüstungsindustrie zu erfüllen.

Test center of Berliner Glas in Berlin

Auswertung des Vakuum-Layouts eines Chucks im Testcenter am Standort Berlin

Zudem hat das Unternehmen am Standort Berlin ein Testcenter aufgebaut, um die Entwicklung von kundenspezifischen Chucks zu beschleunigen. In diesem Testcenter werden sehr früh in der Entwicklungsphase Testteile, die im Rapid Prototyping Verfahren hergestellt werden, gemeinsam mit dem Kunden geprüft und bewertet. So ist es möglich, das Grundprinzip des Chuck-Designs kostengünstig und vor allem schnell zu evaluieren und die Erfahrungen in das finale Design einzuarbeiten. Dadurch werden Risiken minimiert, Entwicklungszeiten verkürzt und Produkteigenschaften optimiert.  

Weitere Informationen und die Dokumente hierzu sind auf der Website zu finden unter:

https://www.berlinerglas.de/perfecting-chucks

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Optische Baugruppen für die Medizintechnik

Entwicklung optischer Komponenten für die Halbleiterindustrie

Große Zylinderlinsen, z. b. für die Lasertechnik

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Wencke Schulz
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Tel. +49 30 60 905-367

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(Reportage von Sabine Dahl)

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